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'대한민국 엔지니어상'에 웨이퍼세정장비 국산화주도 오래택 수석…중기부문 김인호 소장

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'대한민국 엔지니어상'에 웨이퍼세정장비 국산화주도 오래택 수석…중기부문 김인호 소장

2019.03.11 15:40
오래택 세메스 수석연구원(왼쪽)과 김인호 웨어밸리 소장. 과기정통부 제공.
오래택 세메스 수석연구원(왼쪽)과 김인호 웨어밸리 소장. 과기정통부 제공.

오래택 세메스 수석연구원과 김인호 웨어밸리 소장이 ‘대한민국 엔지니어상’ 3월 수상자로 선정됐다. 

 

과학기술정보통신부와 한국산업기술진흥협회는 오래택 연구원과 김인호 소장을 3월 대한민국 엔지니어상 수상자로 선정했다고 11일 밝혔다. 대한민국 엔지니어상은 산업 현장 기술 혁신을 장려하고 기술자를 우대하는 풍토를 조성하기 위해 매월 대기업과 중소기업 엔지니어 각 1명씩 선정해 과학기술정보통신부 장관상과 상금 500만원을 수여한다.

 

대기업 수상자인 오래택 세메스 수석연구원은 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하기 위한 세정장비 국산화에 성공했다. 장비 수입 대체효과는 물론 국내 반도체 제조용 장비의 원천기술을 확보한 공로가 인정됐다. 

 

반도체 집적 회로를 만드는 데 사용되는 실리콘 웨이퍼에 작은 불순물이라도 들어가면 불량품이 된다. 반도체 공정 미세화에 따라 티끌만한 불순물도 불량품을 만들어낼 수 있다. 오래택 연구원은 10나노 공정 반도체에서도 19나노미터(1나노미터는 100만분의 1m) 크기의 불순물도 제거할 수 있는 세정장비를 개발했다. 반도체 시장 경쟁력의 핵심 요인인 수율을 높이고 반도체 산업 경쟁력 강화에 크게 기여한 것으로 평가된다. 

 

오래택 연구원은 “어려운 환경 속에서 반도체 장비 기술 개발을 위해 함께 한 직장 동료와 지원해준 회사에 감사드린다”고 소감을 전했다. 

 

중소기업 수상자인 김인호 웨어밸리 소장은 국내 최초로 대용량 데이터 저장, 추출, 분석 작업에 최적화된 국산 열(列) 기반 데이터베이스 관리체계를 개발했다. 이 기술은 열 단위로 데이터를 저장하는 방식으로 대용량 데이터를 처리할 때 적합한 관리체계로 알려져 있다. 

 

김인호 소장은 대용량 데이터를 빠르게 분석하고 처리하는 데 한계가 있었던 ‘행 기반 데이터 저장 방식’의 단점을 극복했다. 열 기반 관리체계를 도입해 빠르게 원하는 데이터를 저장하고 추출하고 분석할 수 있도록 했다. 

 

김인호 소장은 “연구개발을 지속해 기술 선도에 앞장서겠다”며 “기술 개발에 지원을 아끼지 않은 회사와 동료에게 감사드린다”고 전했다. 

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