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‘메이드 인 코리아’ 오존 생성 장치로 반도체 닦는다

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‘메이드 인 코리아’ 오존 생성 장치로 반도체 닦는다

2015.12.23 18:00

 

 손영수 한국기계연구원 책임연구원과 오존생성시스템.  - 한국기계연구원 제공
손영수 한국기계연구원 책임연구원과 오존 생성 시스템. - 한국기계연구원 제공

 

반도체를 만드는 과정에는 세정이나 표면 처리를 위해 유해한 화학 용액을 써야한다. 국내 연구진이 이 용액 대신 쓸 수 있는 오존 생성 장치를 개발했다. 

 

손영수 한국기계연구원 책임연구원 팀은 반도체 공정에 쓰이던 유해 환경 오염물질을 대체할 수 있는 고효율 오존 생성 장치 기술을 국내에서 처음 개발했다고 23일 밝혔다.
 
연구팀이 개발한 장치는 산소를 고밀도 플라스마로 만드는 과정에서 살균, 소독, 유기물 분해 등 다양한 분야에 활용할 수 있는 기체인 오존을 생성한다. 이 장치는 1시간 동안 오존 500g을 만들 수 있다. 

 

지금까지 국내에서 개발한 오존 발생 장치는 만들 수 있는 오존의 농도가 낮아 식품과 음료산업에서 살균, 소독 용으로만 쓰였다. 반도체와 평판디스플레이 제조 공정에 필요한 고농도 오존 생성 장치는 전량 수입에 의존해왔다.

 

이번에 개발한 장치는 기존 반도체와 평판디스플레이 공정에서 유해 화학물질을 이용하는 세정과 표면처리 공정 등을 대체할 수 있을 만큼 성능이 뛰어나다. 또 소형화에도 성공해 다양한 산업분야에서 활용할 수 있다.

 

연구팀은 오존 생성 장치에 최적의 전기에너지를 공급하는 전력 공급 장치도 개발해 오존 생성량을 획기적으로 향상시켰다. 그 결과 기존 장치보다 전기에너지를 30% 이상 절감했다.  


손 연구원은 “유해 화학용액 대신 잔류물이 남지 않는 오존을 쓰면 친환경적이면서도 저비용으로 생산할 수 있다”며 “중소기업과 함께 기술사업화를 이끌어낸다면 외산 오존 생성 장치를 국산으로 대체할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

 

연구팀은 이번에 개발한 기술에 대해 특허 3건을 등록했으며, 중소기업 2곳에 기술을 이전해 상용화를 진행하고 있다.

 

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