메뉴바로가기본문바로가기

동아사이언스

알티엠, 산업부 '실시간 공정 제어 원자층 식각장비 개발' 과제 선정

통합검색

알티엠, 산업부 '실시간 공정 제어 원자층 식각장비 개발' 과제 선정

2020.08.14 12:44
 

제조공정에 인공지능(AI)을 적용하는 솔루션을 제공하는 스타트업 ‘알티엠(RTM)’이 정교한 반도체 공정 개발을 위한 국책과제 수행기업으로 선정됐다.

 

기술전문 투자회사인 블루포인트파트너스는 투자사인 알티엠이 반도체 장비업체 피에스케이, 빅데이터 플랫폼 구축업체 유디에스와 구축한 공동연구 컨소시엄이 산업통상자원부가 주관하는 ‘2020년도 산업기술 챌린지트랙 차세대 지능형 반도체 기술개발’ 사업 중 ‘실시간 공정 제어가 가능한 원자층 식각장비 개발’ 과제에 최종 선정됐다고 14일 밝혔다.

 

컨소시엄은 2023년 12월까지 60억 원을 지원받는다. 피에스케이가 과제를 주관하고 알티엠과 유디에스 외에도 한양대, 중앙대, 성균관대가 함께 참여한다.

 

이번 과제에서는 기존 식각장비로 만들기 어려운 수 나노미터(nm·10억 분의 1m) 패턴을 구현하기 위해 원자 단위로 식각하는 공정을 개발한다. 원자층 식각은 반도체 제조공정 중 하나로 빛에 노출된 반도체 회로 패턴을 깎아내는 과정이다. 회로 패턴이 갈수록 정교해지면서 정밀한 식각 또한 필요해지고 있다. 컨소시엄은 미세한 공정을 제어하기 위해 실시간 공정데이터를 모으고 이를 통해 AI로 설비를 진단하고 제어하는 시스템을 개발하게 된다.

 

알티엠은 실시간으로 바뀌는 미세 반도체 공정 데이터를 바탕으로 공정상태를 진단하는 AI 솔루션을 개발한다. 알티엠은 블루포인트파트너스와 킹슬리벤처스 등으로부터 투자를 유치했다. 피에스케이는 반도체 제조 과정 찌꺼기를 제거하는 장비에서 세계 1위를 차지하고 있다. 이를 바탕으로 원자층 식각 공정과 장비 개발을 담당한다. 유디에서는 실시간 공정 데이터를 담을 수 있는 데이터 인프라를 만들고 모니터링 솔루션을 개발한다.

 

성기석 알티엠 대표는 “원자층 식각공정 분야에서는 기존 방식의 한계를 극복할 만한 기술이 부족했고, 미세공정 상태를 실시간으로 진단하고 제어하기 어려웠다”며 “알티엠을 비롯해 각 분야의 전문 연구기업과 산학협력단이 협업해 향후 원자층 식각장비 분야를 선도하겠다”고 말했다.

이 기사가 괜찮으셨나요? 메일로 더 많은 기사를 받아보세요!

댓글 0

1 + 8 = 새로고침
###
    과학기술과 관련된 분야에서 소개할 만한 재미있는 이야기, 고발 소재 등이 있으면 주저하지 마시고, 알려주세요. 제보하기