나노미터 크기의 소자 내부 깊은 곳까지 측정할 수 있는 고감도 현미경 기술이 개발됐다. 반도체의 불량 요인으로 꼽히는 내부 공극 등의 문제를 해결할 수 있을 것으로 기대된다. 장정훈 한국표준과학연구원 나노구조측정센터 연구원과 이은성 책임연구원팀은 나노미터급 반도체나 전자소자의 구조를 손상 없이 광학적인 방법으로 영상화하는 ‘광유도력 현미경’을 개발했다. 현재 물질을 나노미터 수준으로 관찰하는 대표적인 장비는 원자힘현미경이다. 이는 곤충이 더듬이를 짚으며 앞의 공간 정보를 파악하듯, 긴 바늘로 물질을 누르...