기계硏, 고효율 반도체공정 배기가스 처리장치 개발 국내 연구진이 반도체 생산 공정에서 나오는 온실가스와 미세먼지를 동시에 잡을 수 있는 기술을 개발했다. 반도체 공정의 오염물질 처리 설비 규모를 30% 줄일 수 있어 비용 절감은 물론이고 생산 효율도 높일 수 있을 것으로 기대를 모은다. 김용진 한국기계연구원 환경기계연구본부 책임연구원 연구팀은 반도체 생산 공정에서 발생하는 온실가스와 미세먼지 등 유해물질을 간편하게 줄여 주는 정전 방식의 가스·먼지 통합형 배기가스 저감장치를 개발했다고 25일 밝혔다. 김 연구원은 &l...