반도체와 디스플레이 같은 정밀 전자 기기는 제작 후 전자현미경 등을 사용해 검사 한다. 제작과정에서 미세한 불순물이 들어간 제품을 골라 폐기해야 했다. 최근 국내 연구진이 개발한 실시간 오염입자 분석 장비가 상용화돼 이 같은 손실을 줄일 수 있을 전망이다. 강상우 한국표준과학연구원(KRISS) 책임연구원팀은 김태성 성균관대 기계공학부 교수팀과 공동으로 진공 상태에서 제작되는 반도체, 디스플레이 등 기기의 오염 여부를 실시간으로 파악할 수 있는 ‘입자특성진단시스템(PCDS)’을 상용화하는 데 성공했다고 12일 밝혔다. 연구진은...
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