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‘실리콘 나노선’ 전기특성 조절 방법 개발

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‘실리콘 나노선’ 전기특성 조절 방법 개발

2008.09.03 09:00
미래의 반도체 소자를 만드는 재료인 ‘실리콘 나노선’의 전기 특성을 조절하는 방법을 국내 연구진이 개발했다. KAIST 물리학과 장기주(사진) 교수팀은 “실리콘 나노선에 화학물질을 첨가했을 때 전기 전도도(傳導度)가 어떻게 변하는지를 알아냈다”고 2일 밝혔다. 이 연구 결과는 나노과학 분야의 국제저널 ‘나노레터스’ 8월 30일자 온라인판에 실렸다. 전기가 흐르지 않는 실리콘 나노선에 미세한 양의 화학물질을 첨가하면 전자가 이동하게 돼 반도체 소자로 쓸 수 있는데 연구팀은 실리콘 나노선에 인(P)을 첨가하면 전기 전도도가 급격히 떨어졌다가 산소나 붕소를 첨가하면 전기가 다시 잘 통한다는 사실을 발견했다. 장 교수는 “실리콘 나노선에 화학물질을 첨가하는 다양한 방법을 개발하면 반도체 성능 향상에도 기여할 수 있을 것”이라고 말했다. nm(나노미터·1nm는 10억분의 1m) 크기의 실리콘 선은 최근 반도체 소자가 점점 작아지면서 차세대 반도체 재료로 주목받고 있다.

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