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반도체 소부장 기업 위한 12인치 반도체 테스트 베드 서비스 시작

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반도체 소부장 기업 위한 12인치 반도체 테스트 베드 서비스 시작

2021.03.16 12:03
나노종합기술원이 구축한 12인치 테스트베드핵심장비인이머전 스캐너와 트랙. 나노종합기술원 제공
나노종합기술원이 구축한 12인치 테스트베드핵심장비인이머전 스캐너와 트랙. 나노종합기술원 제공

분석 장비가 없어 소재 개발에 어려움을 겪던 국내 반도체 중소기업을 위한 12인치 반도체 테스트베드 지원 서비스가 시작된다.

 

과학기술정보통신부는 나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료하고 17일부터 국내 산학연 이용자에게 서비스를 시작한다고 16일 밝혔다.

 

12인치 반도체는 반도체 재료로 쓰이는 실리콘 기판인 웨이퍼 중 12인치(300mm) 지름 웨이퍼를 이용해 만든 반도체다. 12인치 웨이퍼는 판이 넓어 대량생산에 유리해 메모리반도체와 로직반도체 등 부가가치가 높은 반도체 생산에 주로 쓰인다. 삼성전자나 SK하이닉스 등 반도체 대기업도 12인치 웨이퍼를 주로 사용한다.

 

그러나 국내 반도체 기업들은 대기업 생산환경과 비슷한 12인치 테스트베드가 없어 대기업 납품에 필요한 평가결과를 얻는 데 어려움이 있었다. 2019년 7월 발생했던 일본의 수출규제 당시 주요 규제 품목이었던 포토레지스트(감광제)나 극자외선(EUV) 소재 등을 개발해도 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나 종기원의 8인치 장비를 활용해 기초적인 평가를 하는 데 그쳤다.

 

정부는 일본의 수출규제 이후인 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정했다. 이후 450억 원을 투자해 청정실과 핵심장비를 구축하고 장비안정화 작업을 진행했다. 17일부터 소재 성능평가와 박막 및 패턴웨이퍼 제작, 성능평가 데이터 제공 등 서비스를 시작하게 됐다.

 

12인치 테스트베드는 소재 평가와 제작장비 등 10개 장비로 구성됐다. 핵심장비 중 하나는 불화아르곤 미세축소 투영시스템이다. 반도체 공정에서 빛을 쪼여 형태화하는 반도체 소재인 감광제를 평가하는 장비다. 대당 가격이 1000억 원에 달하지만 종기원이 2백억 원을 들여 국내 한 대기업으로부터 중고 장비를 구매한 것으로 알려졌다.

 

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40나노미터(nm·10억분의 1m) 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정”이라며 “향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라라고 말했다.

 

김봉수 과기정통부 기초원천연구정책관은 “반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업으로 대기업뿐만 아니라 다양한 소부장 중소기업들과 대학과 정부출연연구기관 연구자들이 협업하는 대규모 연구 및 산업 생태계를 갖추고 있는 분야”라며 “앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초 및 원천 연구지원과 병행해 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대와 기능고도화 등을 위해 노력하겠다”고 말했다.

 

제공 서비스 목록. 과학기술정보통신부 제공
제공 서비스 목록. 과학기술정보통신부 제공

 

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